Jak wybrać płytki krzemowe do osadzania cienkowarstwowego

Jak wybrać płytki krzemowe do osadzania cienkowarstwowego

Płytki krzemowe są szeroko stosowane jako podłoża w osadzaniu cienkowarstwowym, w tym w procesach PVD, CVD, napylania katodowego, odparowywania, ALD i innych procesach powlekania.

 

Dla kupujących wybór odpowiedniej płytki krzemowej to nie tylko średnica. Wykończenie powierzchni, orientacja, grubość, rezystywność i rodzaj płytki mogą mieć wpływ na wynik osadzania i proces testowania.

 

W tym przewodniku wyjaśniono kluczowe specyfikacje, które należy wziąć pod uwagę przy wyborze płytki krzemowej do osadzania cienkowarstwowego.

 

1. Średnica płytki Typowe średnice płytek krzemowych obejmują:

- 2 cala

- 3 cala

- 4 cala

- 6 cala

- 8 cala

 

W laboratoriach uniwersyteckich i projektach badawczo-rozwojowych powszechnie wymagane są płytki 2-calowe, 4-calowe i 6-calowe. W przypadku testowania procesów lub zastosowań związanych ze sprzętem-wymagany rozmiar zwykle zależy od kompatybilności narzędzia.

 

Przed zakupem kupujący powinni potwierdzić rozmiar płytki akceptowany przez ich sprzęt do osadzania.

 

2. Typ płytki: Prime, Test lub Dummy Różne projekty mogą wymagać różnych gatunków płytek.

| Typ wafla|Typowe zastosowanie |

|----------------|-----------------|

| Pierwszy wafel|Eksperymenty o wyższych wymaganiach lub rozwój procesów |

| Testowy wafel|Ogólne testy, przebiegi próbne i kontrole procesów |

| Atrapa opłatka|Testowanie sprzętu, praktyka obsługi i-niekrytyczne wykorzystanie procesów |

 

Jeśli płytka jest używana wyłącznie do testowania sprzętu lub regulacji procesu, wystarczą płytki obojętne lub płytki testowe. Jeśli osadzona folia będzie używana do szczegółowej analizy elektrycznej, optycznej lub materiałowej, preferowane mogą być płytki pierwotne.

 

3. Wykończenie powierzchni: SSP lub DSP Polerowanie powierzchni to kolejny ważny czynnik.

| Wpisz|Znaczenie|Typowe zastosowanie |

|--------|-------------|----------------|

| SSP|Polerowana jednostronnie|Jedna strona polerowana do osadzania |

| DSP|Dwustronnie polerowany|Obie strony polerowane, przydatne, gdy liczą się obie powierzchnie |

 

Do wielu procesów osadzania cienkich warstw wystarczą płytki krzemowe SSP, ponieważ folia jest osadzana jednostronnie. Jednakże wafle krzemowe DSP mogą być potrzebne w zastosowaniach optycznych, MEMS lub procesach dwustronnych.

4. Orientacja kryształów

Typowe orientacje płytek krzemowych obejmują:

- `<100>` - `<111>`

Właściwa orientacja zależy od procesu i zastosowania.

 

Na przykład MEMS, zachowanie podczas trawienia, właściwości powierzchni i struktura urządzenia mogą wymagać określonej orientacji. Jeśli kupujący nie jest pewien, lepiej sprawdzić wymagania dotyczące procesu przed złożeniem zamówienia.

 

5. Rezystywność i typ dopingu

Płytki krzemowe mogą być typu P-lub typu N-, o różnych zakresach rezystywności.

 

Typowe opcje obejmują:

Płytka krzemowa typu - P-

Płytka krzemowa typu - N-

- Płytka krzemowa o niskiej rezystancji

- Płytka krzemowa o wysokiej rezystancji

 

W przypadku prostych testów powłok oporność może nie być bardzo krytyczna. Jednak w przypadku testów elektrycznych, zastosowań RF lub opracowywania urządzeń półprzewodnikowych ważną specyfikacją może być rezystywność.

 

6. Grubość i TTV

 

Grubość płytki powinna odpowiadać wymaganiom sprzętu i obsługi.

 

Kupujący mogą również wziąć pod uwagę:

- Grubość

- TTV

- Ukłon

- Wypaczenie

- Chropowatość powierzchni

 

W przypadku ogólnych prac badawczo-rozwojowych dopuszczalna może być standardowa grubość. W przypadku precyzyjnego opracowania procesu mogą być wymagane bardziej rygorystyczne specyfikacje.

 

7. Wymagania dotyczące warstwy tlenkowej

 

Niektóre zastosowania wymagają płytek krzemowych z warstwą tlenku termicznego.

 

Płytkę krzemowo-tlenkową termicznie można zastosować, gdy projekt wymaga:

- Warstwa izolacyjna

- Izolacja powierzchni

- Testowanie cienkich warstw

- Rozwój procesu MEMS

- Testowanie kompatybilności materiałów

 

Przed zamówieniem płytek tlenkowych kupujący powinni potwierdzić wymaganą grubość tlenku.

 

Wniosek

 

Wybór płytki krzemowej do osadzania cienkowarstwowego zależy od procesu, wyposażenia i końcowego celu badania. Przed zakupem należy wziąć pod uwagę średnicę, wykończenie powierzchni, orientację, rezystywność, grubość i warstwę tlenku.