Gdzie stosuje się wafle polerujące płytki krzemowe?

Polerowane wafle są najpopularniejszym produktem, natomiast inne produkty na bazie wafli krzemowych powstają w procesie wtórnego przetwarzania polerowanych wafli.
Polished wafer to najbardziej podstawowy krzemowy wafel o najszerszym zakresie zastosowań. Polerowane wafle mogą być bezpośrednio używane do produkcji urządzeń półprzewodnikowych i są szeroko stosowane w układach pamięci i urządzeniach zasilających. Mogą być również używane jako materiały podłoża dla innych typów krzemowych wafli, takich jak epitaksjalne wafle i krzemowe wafle SOI.
W miarę jak charakterystyczna szerokość linii układów scalonych nadal się kurczy, a precyzja fotolitografii staje się coraz drobniejsza, ekstremalnie małe nierówności na waflu krzemowym spowodują deformację i przemieszczenie wzoru układu scalonego. Technologia produkcji wafli krzemowych staje w obliczu coraz wyższych wymagań i wyzwań. Rozmiar cząstek i czystość powierzchni układu scalonego mają również bezpośredni wpływ na wydajność produktów półprzewodnikowych.
Dlatego proces polerowania jest kluczowy dla poprawy płaskości i czystości powierzchni krzemowego wafla. Główną zasadą jest spłaszczenie powierzchni krzemowego wafla półprzewodnikowego i zmniejszenie chropowatości poprzez usunięcie warstwy uszkodzeń pozostającej na powierzchni obrabianej.